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產(chǎn)品中心光刻機LITHO MASKLESS緊湊型臺式光刻系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介
緊湊型臺式光刻系統(tǒng)重新定義無掩模光刻技術(shù)LITHO MASKLESS 是一款緊湊型臺式光刻系統(tǒng)利用基于 UV LED 的 DLP 引擎實現(xiàn)無掩模圖案化。設(shè)計簡潔，精準(zhǔn)它將微加工技術(shù)從潔凈室和任何研究或教育空間中帶出來。
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
緊湊型臺式光刻系統(tǒng)
重新定義無掩模光刻技術(shù)
LITHO MASKLESS 是一款緊湊型臺式光刻系統(tǒng)利用基于 UV LED 的 DLP 引擎實現(xiàn)無掩模圖案化。設(shè)計簡潔，精準(zhǔn)它將微加工技術(shù)從潔凈室和任何研究或教育空間中帶出來。
克服傳統(tǒng)掩模對準(zhǔn)機的局限性：
-傳統(tǒng)的掩模對準(zhǔn)器長期以來一直對半導(dǎo)體研究造成障礙
-設(shè)備笨重且昂貴
-操作程序復(fù)雜且僵化
-潔凈室基礎(chǔ)設(shè)施要求
-掩模制造的交付周期
-每個掩膜的成本很高 通常要幾百到幾千美元
可安裝顯微鏡的模塊：
可與傳統(tǒng)品牌顯微鏡配合使用，無需額外占用空間。
通過PLANCK軟件進(jìn)行即時投影：
上傳圖片并在幾秒鐘內(nèi)曝光。
無潔凈室操作：
直接在潔凈工作臺內(nèi)使用。
無掩模工作流程：
消除光掩模制造時間和成本。
定制圖像圖案：
支持PNG、JPG和灰度模式，實現(xiàn)靈活的實驗設(shè)計。
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緊湊型臺式光刻系統(tǒng)
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