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產品中心

Product Center
  • P7晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

    P-7晶圓探針式輪廓儀/臺階儀保持了P-17技術的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現來看, P-7具有較好的測量重復性。

    更新時間:2025-09-26
    產品型號:P7
    瀏覽量:5767
  • D-600Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀

    KLA*的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,帶有電動載物臺。可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率。這種Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀有著可選的3D輪廓分析功能。

    更新時間:2025-09-25
    產品型號:D-600
    瀏覽量:3417
  • Nanofocus μSurf白光共軛焦輪廓儀

    產品類型:白光、共軛焦、非接觸 μSurf結合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動,以類似斷層攝影方式,精確量測物體高度(如下圖所示)。 由于使用了共軛焦的方法,在測量漸變較大的高度時,跟其他同類公司產品使用較多的干涉法相比,可以精確量測物體高度,建立3D立體影像,優(yōu)勢相當明顯。

    更新時間:2024-06-17
    產品型號:Nanofocus μSurf
    瀏覽量:2550
  • NanoFocus μScan激光掃描輪廓儀

    μScan采用模塊化設計,特點是快速測量、不接觸、不破壞、自動化,μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器,(Z方向測量)連用,如Confocal point sensor、Autofocus sensor、 Chromatic white light sensor、Holographic sensor等。

    更新時間:2024-06-17
    產品型號:NanoFocus μScan
    瀏覽量:2365
  • μScanNanoFocus μScan(激光掃描輪廓儀)

    AF2 自動對焦(Autofocus) 借由探測器的回饋訊號調整物鏡位置,得到待測物焦點,而獲得待測物的確實高度(如下左圖)。 CF4 共軛焦(Confocal, Laser) 激光光束經由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上,此時偵測器能經由孔洞得到Z大光的強度,如此偵測器根據此訊號確定其位置

    更新時間:2024-06-17
    產品型號:μScan
    瀏覽量:2771
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